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PH3磷烷氣體微量氧分析儀ADEV G9600：為半導體制造提供支持|埃登威自動化系統(tǒng)設備（上海）有限公司

PH3磷烷氣體微量氧分析儀ADEV G9600：為半導體制造提供支持

磷化氫（PH3）是一種在半導體制造中廣泛使用的關鍵原料，但其劇毒、易燃的特性使得對其濃度的**監(jiān)測成為一項至關重要的任務。為了滿足這一需求，ADEV推出的G9600微量氧分析儀展現出了**的性能和價值。

一、磷烷的多重應用與風險PH3磷烷氣體微量氧分析儀ADEV G9600：為半導體制造提供支持

磷烷是半導體器件制造中的核心N型摻雜源，對于多晶硅化學氣相沉淀、外延GaP材料、離子注入工藝、MOCVD工藝以及磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝來說都不可或缺。然而，這種無色、無味但在某些情況下可能帶有乙炔或大蒜味的氣體，在與其他磷的氫化物如乙磷化氫相遇時，甚至可能引發(fā)自燃。長時間吸入磷化氫可能會對人體的心臟、呼吸系統(tǒng)、腎、腸胃、神經系統(tǒng)和肝臟造成不可逆的傷害。因此，對其進行**、及時的監(jiān)測顯得尤為重要。

二、G9600微量氧分析儀的技術優(yōu)勢

為了滿足半導體制造行業(yè)對磷烷氣體微量氧的監(jiān)測需求，ADEV推出了G9600微量氧分析儀。這款儀器具有以下幾個顯著的技術優(yōu)勢：

  1. 寬泛的測量范圍：G9600的量程范圍涵蓋0ppm～10ppm至0~25%，自動量程功能確保其能夠應對各種應用場景。
  2. 高精度與快速響應：±1%的準確性和＜15s的響應時間（變化90%）確保了實時、準確的監(jiān)測數據。PH3磷烷氣體微量氧分析儀ADEV G9600：為半導體制造提供支持
  3. 便攜與輕巧：重量僅為3.4kg的G9600采用便攜式外觀設計，搭配可充電的長壽命鋰電池，使其可以在各種工作環(huán)境中輕松使用。
  4. 先進的處理與分析技術：采用32位高速處理器和24位超高精度傳感器信號采樣技術，確保儀器的高精度、快速響應及很寬的測量范圍。
  5. 用戶友好與多功能：液晶顯示屏、引導式軟件操作菜單以及支持中英文切換的功能，使得操作更為簡便。此外，G9600還支持數據下載定時數據存儲，容量達10000條，具有RS485輸出等功能。

三、滿足實際需求的標準配置與備品備件PH3磷烷氣體微量氧分析儀ADEV G9600：為半導體制造提供支持

為了滿足實際的使用需求，G9600的標準配置包括主機、1/8英寸不銹鋼取樣管路、內置流量計和電源適配器。同時，為了確保長期的穩(wěn)定使用，ADEV還為用戶提供兩年的備品備件清單，其中包括微量氧傳感器S8201。

綜上所述，ADEV G9600微量氧分析儀以其**的技術性能和用戶友好的設計，為半導體制造行業(yè)中的磷烷氣體監(jiān)測提供了有力的支持。其寬泛的測量范圍、高精度與快速響應以及便攜輕巧的特性，使其成為該領域中的理想選擇。

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