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產品資料

日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)

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產品名稱: 日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)
產品型號: shinkuu VE-2012
產品展商: 其它品牌
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)
VE-2012是一種簡單的真空氣相沉積系統(tǒng),它繼承了VE-2030(由我們公司制造)的概念。


日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)  的詳細介紹

日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)


 

通過在外殼中內置TMP來實現(xiàn)緊湊的外殼。由于它是臺式機類型,因此不會占用空間。RP被放置在地板上。
我們以低價提供帶有小TMP + RP排氣系統(tǒng)的清潔,高真空氣相沉積設備。一個簡單的操作系統(tǒng),消除了復雜的排氣操作,僅打開和關閉開關。
可以使用鎢筐沉積金,鋁,鉻,銀等。對于碳氣相沉積,使用了一種鉗式氣相沉積槍型,它會隨著碳的蒸發(fā)而蒸發(fā)鋒利的鉛筆型替換芯。(不能使用Φ5mm碳棒。)

購買時,我們將選擇碳氣相沉積電極或金屬氣相沉積電極??梢赃x擇購買其他電極。

碳蒸鍍電極

Φ0.5mm碳蒸鍍電極,僅用于碳。
它能夠在高真真空區(qū)中沉積碳,并且可以形成具有優(yōu)異膜質量和膜強度的碳膜。
附帶的防污蓋可醉大程度地減少碳蒸氣沉積的擴散范圍,并減少清潔負擔。
建議使用碳SLC-30作為碳氣相沉積源。日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)

金屬氣相

沉積電極這是專門用于鎢筐的金屬氣相沉積電極。
可以輕松地沉積金,鋁,鉻等。隨附的防污罩可醉大程度地減少氣相沉積范圍,并減少清潔負擔。

主要產品規(guī)格日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)

項目 規(guī)范
電源 AC100V(單相100V15A)
裝置尺寸 寬400毫米,深425毫米,高546毫米
(設備重量25千克)
旋轉泵(外部) 排氣速度50?/ min(G-50DA)
(重量11kg)
渦輪泵(內置裝置) 排氣速度67?/秒
樣品臺 直徑72毫米
沉積源-樣品臺間距 可在0毫米至140毫米范圍內調節(jié)

關于選項

選配

2018.11.01

選配

對于氣相沉積設備,我們?yōu)楦鞣N實驗應用提供大量選擇。此選項是一個正常的示例。我們也接受根據客戶所需規(guī)格的修改,因此請與我們聯(lián)系。VE-2012 ...

 

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