日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)
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產品名稱:
日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)
產品型號:
shinkuu VE-2012
產品展商:
其它品牌
產品文檔:
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簡單介紹
日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)VE-2012是一種簡單的真空氣相沉積系統(tǒng),它繼承了VE-2030(由我們公司制造)的概念。
日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng) 的詳細介紹
日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)
通過在外殼中內置TMP來實現(xiàn)緊湊的外殼。由于它是臺式機類型,因此不會占用空間。RP被放置在地板上。
我們以低價提供帶有小TMP + RP排氣系統(tǒng)的清潔,高真空氣相沉積設備。一個簡單的操作系統(tǒng),消除了復雜的排氣操作,僅打開和關閉開關。
可以使用鎢筐沉積金,鋁,鉻,銀等。對于碳氣相沉積,使用了一種鉗式氣相沉積槍型,它會隨著碳的蒸發(fā)而蒸發(fā)鋒利的鉛筆型替換芯。(不能使用Φ5mm碳棒。)
購買時,我們將選擇碳氣相沉積電極或金屬氣相沉積電極??梢赃x擇購買其他電極。
碳蒸鍍電極

Φ0.5mm碳蒸鍍電極,僅用于碳。
它能夠在高真真空區(qū)中沉積碳,并且可以形成具有優(yōu)異膜質量和膜強度的碳膜。
附帶的防污蓋可醉大程度地減少碳蒸氣沉積的擴散范圍,并減少清潔負擔。
建議使用碳SLC-30作為碳氣相沉積源。日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)
金屬氣相

沉積電極這是專門用于鎢筐的金屬氣相沉積電極。
可以輕松地沉積金,鋁,鉻等。隨附的防污罩可醉大程度地減少氣相沉積范圍,并減少清潔負擔。
主要產品規(guī)格日本shinkuu真空簡單的真空氣相沉積系統(tǒng)
項目
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規(guī)范
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電源
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AC100V(單相100V15A)
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裝置尺寸
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寬400毫米,深425毫米,高546毫米
(設備重量25千克)
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旋轉泵(外部)
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排氣速度50?/ min(G-50DA)
(重量11kg)
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渦輪泵(內置裝置)
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排氣速度67?/秒
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樣品臺
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直徑72毫米
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沉積源-樣品臺間距
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可在0毫米至140毫米范圍內調節(jié)
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關于選項
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