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產品資料

Puren-T H2O 微量水分析儀

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產品名稱: Puren-T H2O 微量水分析儀
產品型號: 光能科技ppb半導體用微量水分析儀
產品展商: 其它品牌
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

Puren-T H2O 微量水分析儀 在集成電路生產過程中，氣體中的雜質將會直接影響芯片的壽命和性能。目前，光腔衰蕩水分析儀在半導體領域中是測痕量水分的標準設備。因為它能夠及時檢測出氣體中的雜質含量是否超標，所以對半導體制程后端的產品質量提升有非常大的幫助。


Puren-T H2O 微量水分析儀  的詳細介紹

Puren-T H2O 微量水分析儀

高純氣體是集成電路、光伏、光纖等產業(yè)的重要基礎材料，在大規(guī)模集成電路芯片生產過程中，氣體中的氣態(tài)、液態(tài)和固態(tài)雜質均會對芯片質量構成重要影響。由于氣體中的微量氧和水的存在，在高溫下合成的半導體器件表面容易生成氧化膜，這是影響器件壽命和性能的重要因素。

在集成電路生產過程中，氣體中的雜質將會直接影響芯片的壽命和性能。目前，光腔衰蕩水分析儀在半導體領域中是測痕量水分的標準設備。因為它能夠及時檢測出氣體中的雜質含量是否超標，所以對半導體制程后端的產品質量提升有非常大的幫助。

一、Puren-T H2O 微量水分析儀性能規(guī)格表 微量水分析儀性能規(guī)格表

Puren-T H2O 微量水分析儀性 能電 子 參 數(shù)

適用氣體 多數(shù)有毒的、不活躍性氣體 檢測范圍 詳見技術參數(shù)表 測量下限 詳見技術參數(shù)表

靈敏度 ±0.75%或 1/3LDL 氣路 準確度 ±3% 系

統(tǒng) 響應速度 <1minute to 90% 和

報警指示 系統(tǒng)報警 條件 用戶可編程報警

供電要求 100-240VAC，50/60Hz 功率 20W(MAX)

用戶界面 7 寸液晶顯示屏

4-20mA輸出

工作環(huán)境溫度 存放溫度 管路材料氣體連接 檢漏測試 入口壓力 *大流量通入氣體溫度 保護氣接口 尺寸 重量

Puren-T H2O 微量水分析儀測量下限

200ppt 200ppt 130ppt 150ppt 100ppt

10°C~40°C -10°C-40°C
316L 不銹鋼
Ra0.25 表面光潔 1/4 VCR 外螺紋接口 <1×10-9mbar l/sec 0.2-0.8MPa

1.5slm

*高 60°C
N2 or He,1/8 外螺紋卡套接頭

600mm×200mm×200mm 10Kg

靈敏度

100ppt 70ppt 45ppt 50ppt 20ppt

信號輸出 自適應網(wǎng)絡 RS-232 串行通信

二、Puren-T H2O 微量水分析儀技術參數(shù)表 被檢氣和背景氣 測量范圍

H2O in N2 0-20ppm H2O in H2 0-16ppm H2O in Ar 0-9ppm H2O in O2 0-10ppm H2O in He 0.4ppm

Puren-T H2O 微量水分析儀應用非常廣泛，不僅有來自半導體產業(yè)、液晶平板顯示器(LCD)、光電子器件(LED)制造業(yè)、太陽能光伏產業(yè)等領域的終端客戶，也有一些上游的氣體制造商，比如華特氣體、金宏氣體等。

更多Puren-T H2O 微量水分析儀光能科技ppb半導體用微量水分析儀信息請直接致電埃登威上海公司13482246053


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