日本AMAYA株式會社天谷制作所太陽能電池AMAX1000S

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產(chǎn)品名稱: 日本AMAYA株式會社天谷制作所太陽能電池AMAX1000S

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產(chǎn)品展商: 其它品牌

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簡單介紹

日本AMAYA株式會社天谷制作所連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S156 毫米方形 1500 張/小時吞吐量采用SiC托盤防止重金屬污染的對策，以及通過改善托盤支架防止背面環(huán)繞的措施特征可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設(shè)備運輸156

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連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S

連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池

可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設(shè)備運輸156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板。
我們開發(fā)了可實現(xiàn)批量生產(chǎn)的專用分散頭，以及實現(xiàn)超高速輸送的雙臂輸送機構(gòu)。此外，還增加了燈管加熱機構(gòu)，以實現(xiàn)超高速和晶圓溫度均勻性。
我們開發(fā)了一種特殊的晶圓支架，用于高效加熱太陽能電池的薄晶圓。
卸料器部分使用多級Bernui卡盤來分離晶圓和托盤，并且還具有冷卻功能。